转发国家自然科学基金委员会关于发布2024年度国家自然科学基金专项项目——“先进IC制造装备共性基础”申请指南的通告

各有关单位及项目申请人：

国家自然科学基金委员会日前发布了《关于发布2024年度国家自然科学基金专项项目——“先进IC制造装备共性基础”申请指南的通告》。本专项聚焦光-机-电-热-声耦合作用下先进 IC 制造装备超精密高稳定运行问题，开展整机系统高保真数字孪生建模、零部件材料性能衰退机理、高精度加工与超精密测量、温度测量与气流控制等共性基础问题研究，形成面向先进 IC 制造装备的高性能材料制备、高精度制造、高精密测量、高稳定控制的理论与方法，助力我国先进 IC 制造装备自主研发。拟资助方向：1.光机电系统数字孪生建模理论与方法；2.高性能磁流变抛光液材料及其性能退化规律；3.精密光机结构与材料极微蠕变机理与抑制方法；4.工艺膜层及微结构对光学传感影响规律；5.高频振动抑制策略与主被动阻尼减振元件设计；6.气流噪声产生机理、传播规律与抑制方法；7.耐辐照光纤束制造新方法；8.液体镜头温度波动对曝光性能影响规律；9.球面/非球面光学表面/亚表面疵病检测与评价方法；10.投影物镜波像差检测物理光学模型与误差降低方法。

项目指南已通过科学基金网络信息系统（https://grants.nsfc.gov.cn）发布，请二级单位和申请人登录科学基金网络信息系统，在“项目管理-项目指南”模块查看。

请有关单位科研管理部门或科研秘书认真组织符合条件的人员申请。有意申请者请在2024年12月5日前把意愿通过email告知科研院联系人。GRANTS系统提交申请书电子版的校内截止时间为2024年12月10日16时。本项目实行无纸化申请，无需提交纸质申请材料。

联 系 人：科学研究院纵向处  范丹琳，冯春华

联系电话：020-84111595/84115962

联系邮箱：sysunsfc@mail.sysu.edu.cn

科学研究院    

2024年11月28日

通知链接：关于发布2024年度国家自然科学基金专项项目——“先进IC制造装备共性基础”申请指南的通告

https://www.nsfc.gov.cn/publish/portal0/tab434/info93907.htm