转发国家自然科学基金委员会关于发布2024年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“先进IC制造装备基础前沿”申请指南的通告

各有关单位及项目申请人：

国家自然科学基金委员会日前发布了《关于发布2024年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“先进IC制造装备基础前沿”申请指南的通告》。本项目围绕先进 IC 制造装备研制面临的基础科学难题，旨在通过揭示材料设计与制备、 先进制造与精密测量、流质输控与热质传换、运动驱动与振动抑制等基础前沿问题， 形成针对先进 IC 制造装备的新材料、高精密制造、超精密测量、高精度流质输控、 高速率低波动运动驱动的新理论与新方法，支撑我国先进 IC 制造装备的自主研发。资助方向：1.光学透镜材料深紫外辐照性能退化机理与抗辐照新材料设计；2.高性能阻尼材料的振动抑制机理与设计方法；3.有机物紫外降解机理与痕量总有机碳检测方法；4.纳米颗粒学散射粒径测量与精确计数；5.大口径学学元件深紫外波段偏振性能测量方法；6.运动台动力学性能及运动稳定机理；7.运动台冗余驱动与精密运动的测量和控制方法；8.大面积小线宽多层金属线版图设计与零缺陷制造；9.局部微小空间内气浴流场温度均匀性设计方法；10.极紫外学源靶滴等离子化能量演变机理与碎屑高效输运；11.电机与驱动器高精度建模及测试验证回归。

项目指南已通过科学基金网络信息系统（https://grants.nsfc.gov.cn）发布，请二级单位和申请人登录科学基金网络信息系统，在“项目管理-项目指南”模块查看。

请有关单位科研管理部门或科研秘书认真组织符合条件的人员申请。有意申请者请在2024年11月4日前把意愿通过email告知科研院联系人。国家自然科学基金委GRANTS系统提交预申请的截止时间为2024年11月13日16时。根据指南要求，提交申请之前请申请人务必与工程与材料科学部工程科学二处电话联系，咨询项目指南的需求背景。预申请材料由申请人直接提交至基金委，科研院无权限操作退回，请检查无误再提交。本项目实行无纸化申请，无需提交纸质申请材料。

联 系 人：科学研究院纵向处  范丹琳，冯春华

联系电话：020-84111595/84115962

联系邮箱：sysunsfc@mail.sysu.edu.cn

科学研究院    

2024年10月30日

通知链接：关于发布2024年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“先进IC制造装备基础前沿”申请指南的通告

https://www.nsfc.gov.cn/publish/portal0/tab434/info93758.htm