关于“一种MOCVD设备生长均匀性工艺参数的优化方法”等六项发明专利权转让的公示
发布人：科学研究院
发布日期：2020-12-05
按照《中山大学科技成果转化实施办法》（中大科研〔2020〕25号）的规定，现将拟转让的中山大学与佛山市中山大学研究院共有的“一种MOCVD设备生长均匀性工艺参数的优化方法”等六项发明专利权相关信息予以公示，公示期15日，自2020年12月5日至12月20日止。任何单位和个人如对转让有异议，可于2020年12月20日下午5:30前以书面形式送交科学研究院产学研合作处（地址：南校区中山楼一期101室）。异议应当签署真实姓名或加盖单位公章，并注明联系方式，逾期不予受理。
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专利号/专利申请号 |
专利名称 |
发明人 |
拟转让价格 |
拟受让方 |
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ZL 201610850215.1 |
一种MOCVD设备生长均匀性工艺参数的优化方法 |
王钢；李健；王杰；陈梓敏；范冰丰；马学进 |
47万 |
上海您惦半导体科技有限公司 |
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ZL201710827333.5 |
MOCVD设备进气装置和反应腔的结构及该设备的薄膜生长方法 |
王钢；李健；徐艺峰；马学进；范冰丰 |
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ZL 201410558331.7 |
一种制备半导体外延片的MOCVD反应装置 |
王钢；李健；范冰丰 |
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ZL 201410558174.X |
一种MOCVD设备的进气装置及MOCVD设备 |
王钢；吴飞飞；李健；范冰丰 |
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ZL 201510062237.7 |
一种MOCVD设备的喷淋头 |
王钢；李健；范冰丰；蔡健栋；吴飞飞 |
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ZL 201611046665.1 |
一种MOCVD设备喷淋头及包含其的MOCVD设备和进气方式 |
王钢；李健；范冰丰；王杰；陈梓敏 |
联系人：刘乐
联系电话：020-84111874
科学研究院
2020年12月5日
